vpe是什么材料_vpe是什么材料
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∪ω∪ MOCVD MBE和HVPE生长GaN薄膜|第3期芯片制造英语小百科H VPE 生长速度快,可以在蓝宝石上制备厚膜Ga N。在生长Ga N 单晶材料过程中,氯化氢H Cl在800 摄氏度下与Ga单质金属反应生成气态金属氯化物,然后在加热到1 000-1050 摄氏度的衬底表面与N我国CVD设备市场规模不断扩大加速技术研发为核心任务-腾讯内容开放平台从细分种类来看,根据工艺技术的不同,CVD设备可分为PECVD、APCVD/LPCVD、ALCVD、VPE等设备,其中APCVD/LPCVD与PECVD为主要CVD设备,其占比分别为37%、36%。CVD设备种类介绍资料来源:公开资料。
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